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主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的能，可以大致分为加热系统，传热及支撑系统，导流系统，保温系统等。如加热系统包括加热器，石墨电极，连接螺栓等部件，传热及支撑系统包括石墨坩埚，石英坩埚，托盘，坩埚轴等部件，导流系统包括导流筒等部件，保温系统包括保温盖，保温筒，保温炭毡等部件。热场温度区域的分布，直接影响了拉晶生产是否能顺利进行。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料以及晶棒的拉速和品质。而石墨加热器作为加热系统的核心部件2加热器的工作原理与使用要求。

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伺服电机和步进电机的混合使用完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。质量要求的好法。面向过程的软件FEMAG为用户了可以深入研究的数值工具，用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的计算。加热器，环境等）对晶体质量的影响出容易的判断。数值是用来获得廉价的，完整的和细节的结晶过程，以此方法用来预测晶体生长，改善晶体生长技术。举例来说，对于无经验人员。保温材料。其中在固液界面处的温度梯度为关键。数值模拟是在一个低成本的情况下，利用电脑计算的详尽，用以支持真正的（且昂贵）实验。4.1严格防止短路或接地4.2应使用绝缘工具，戴绝缘手套，必要时在工作前停用有关继电保护装置。