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本文拟采用有限元分析的方法，对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此，避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现，某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化，造成有效分凝系数的变动，导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀，引起对流情况不稳定，导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约，单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动，又要上升运动，同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，EGL-125隔离关：隔离关是高压关电器中使用多的一种电器，是在电路中起隔离作用的。它本身的工作原理及结构比较简单，但是由于使用量大，工作可靠性要求高，对变电所、电厂的设计、建立和安全运行的影响均较大。闸的主要特点是无灭弧能力，只能在没有负荷电 适用于两条低压电路切换或者两个负载设备的转换或安全隔离等EATS3双电源转换关：用两路电源来保供电的可靠性，一种产品在两路电源之间进行可靠切换。该产品具有自投自复和自投不自复两种切换功能。此款为手动转换关。设计新颖，安全可靠、自动化程度高、使用范围广。EW45式智能断路器：主要用来分配电能和保护线路及电源设备免受过载、短路、欠电压、单相接地等故障的危害，该断路器具有多种智能保护功能，可选择性保护，且动作，避免不必要的停电，提高供电可靠性和安全性。